第一百三十一章 光刻机技术路线(第3/3 页)
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都不愿意继续朝着这个方向投入研发成本的最重要原因吧。”
周新话音刚落，林本坚脸色大变，周新知道arf和krf，这他能理解。
因为这些都是发表在公开期刊上的内容，但凡对光刻机感兴趣的人，都有机会阅读到。
但是周新能够准确说出不往arf方向投入的原因，即便从业人员，都没有办法知道的内容。
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